隨著半導體工藝進入10nm節點以下,EUV光刻機已成為制高點。
以前,臺積電搶購了世界上大多數EUV光刻機,并在7nm和5nm工藝的批量生產中處于領先地位。
現在存儲器制造商也正在進入市場。
SK海力士以4.8萬億韓元的價格搶購EUV光刻機。
據報道,SK海力士已與ASML簽署了一項超大型訂單,該訂單將在未來五年內花費4.8萬億韓元(約合43.4億美元)購買EUV光刻機。
SK海力士在一份監管??文件中表示,該交易是為了實現下一代工藝芯片的批量生產目標。
ASML和SK Hynix沒有透露他們用這么大的資金購買了多少EUV光刻機,但是從先前的1億歐元數據來看,SK Hynix這次購買了大約40臺EUV光刻機。
如果扣除支持服務費,總數可能會在30-35個單位左右,這仍不容小under。
畢竟,去年ASML的EUV光刻機的銷量僅為31臺。
根據各種數據,SK Hynix在未來幾年內還將成為ASML的主要EUV客戶。
此外,SK Hynix是全球第二大存儲芯片制造商。
這次購買的EUV光刻機主要用于新一代內存顆粒。
先前有報道稱,SK海力士將在今年下半年在利川工廠的M16生產中使用EUV光刻機。
第四代(1anm)DRAM產品。
對于存儲器,它面臨著與CPU邏輯過程相同的小型化問題。
EUV光刻機可以減少多次曝光過程并提供過程精度,從而可以減少生產時間,降低成本并提高性能。